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鉭酸鋰薄膜紅外探測器及制法

724   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:52:07
本發明涉及鉭酸鋰薄膜紅外探測器及制法。本發明包括：一紅外濾波窗口，一諧振斬波調制器，一聚焦透鏡，一熱釋電鉭酸鋰薄膜紅外探測頭，一熱沉腔體，一前置放大器，一低通濾波器，一電源及信號輸出接口，一殼體，一環境溫度探測補償器。探測器制法，包括：選基底，在其正反面生長SiO2層，依次在正面沉積Si3N4層，濺射Ti層，濺射光刻Pt電極層，制備鉭酸鋰薄膜層，沉積光刻Al電極層，生長光刻SiNX抗反射層，濺射黑層，完成制作雙元結構紅外探頭。聚焦透鏡上涂防反射膜。紅外窗口貼窄帶濾波膜。前置放大器用JFET管或運放搭建。低通濾波器由運放搭建。諧振斬波調制器用壓電驅動，或電磁驅動，諧振頻率為1Hz～1000Hz。
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“鉭酸鋰薄膜紅外探測器及制法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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