本發明提供了一種三級蒸發高速卷對卷真空鋰薄膜生產裝置,包括機架,所述的機架內設置有第一隔板與第二隔板,第一隔板與第二隔板均縱向設置,所述的第一隔板與第二隔板上均設置有一個位置相對應的窗口,所述的第一隔板與第二隔板將所述的機架的內部依次分隔為放卷腔、第一鍍膜腔、收卷腔,基膜通過所述的窗口自放卷腔穿行至收卷腔。本發明所述的三級蒸發高速卷對卷真空鋰薄膜生產裝置通過三級蒸發結構的蒸發系統完成輸運及蒸發鋰,改善沉積鋰薄膜的高溫度現象與薄膜的均勻性。
聲明:
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