本發明公開了一種鈮酸鋰單晶的變速切割方法?;静襟E為:1、用膠水粘接鈮酸鋰單晶,保證晶向在合格范圍內;2、聚乙二醇和碳化硅微粉按照一定比例配置成切割砂漿;3、將粘接好的鈮酸鋰單晶放入多線切割機的工作臺工位中,將工作臺的勻速進給切割過程改為按照切割位置分段的不同速度的進給切割;4、切割后的鈮酸鋰晶片進行脫膠、清洗、干燥。本發明采用的切割方法操作簡單;一次切割可得到數百片晶片,切割效率高;切割后的幾何參數優于定速多線切割后樣片的幾何參數;通過公式可以快速找到合適的切割速度,進而設置較為合理的切割程序,可以避免反復試驗,節省了時間和物料。
聲明:
“鈮酸鋰單晶的變速切割方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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