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單邊輸出的鈮酸鋰薄膜雙Y分支光波導相位調制器

902   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 21:35:40
本發明公開了一種單邊輸出的鈮酸鋰薄膜雙Y分支光波導相位調制器,包括單邊輸出的雙Y分支光波導相位調制器芯片,所述雙Y分支光波導相位調制器芯片包括襯底、二氧化硅層、光波導層和保護層,所述保護層上設有調制電極;所述光波導層包括鈮酸鋰薄膜層和鈮酸鋰脊形光波導,所述鈮酸鋰脊形光波導形成單邊輸出的雙Y分支光波導結構。本發明中,過渡光波導采用曲線結構,有效消除了輻射模在光路中耦合形成的串擾和噪聲;另外,本發明通過改變鈮酸鋰薄膜光波導芯片的結構,增大了鈮酸鋰脊形光波導與保護層的折射率差,進而增強了對光的束縛能力,使光波導的彎曲半徑大大減小,并實現了單邊輸出的結構,實現了器件的小型化。
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