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摻鈦鋁酸鋰晶片的制備方法

1128   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:32:16
一種用于GaN基襯底的摻鈦鋁酸鋰晶片的制備 方法，包括下列步驟：①采用提拉法生長含有四價鈦的摻鈦鋁 酸鋰晶體，即 Ti4+ : LiAlO2；②制片：將晶體切片并在富鋰的氣氛中利用氣相傳 輸平衡法進行處理。經測試，該 Ti4+ : LiAlO2晶片的熱穩定性和抗水解性能明顯優于純鋁酸鋰晶 片，是一種質量較高，尺寸較大的適用作GaN基襯底的摻鈦 鋁酸鋰晶片。
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