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薄膜鈮酸鋰電光調制器及制備方法

1100   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:29:40
本發明公開了一種薄膜鈮酸鋰電光調制器及制備方法，薄膜鈮酸鋰電光調制器包括從下到上布置的硅襯底、埋氧層和鈮酸鋰層，鈮酸鋰層上表面刻蝕形成薄膜鈮酸鋰光波導；薄膜鈮酸鋰光波導包括馬赫曾德爾結構；在馬赫曾德爾結構每條光波導臂兩側分別設置行波信號電極和行波接地電極，在行波信號電極和行波接地電極之間設置用于對光波導臂內的光信號調制的電容負載型T結構電極；馬赫曾德爾結構每條光波導臂兩側和下方設置有用于降低微波信號有效折射率的鏤空隔離結構。該種電光調制器在硅基襯底下實現了超低驅動電壓，超低微波損耗，超大電光帶寬的薄膜鈮酸鋰電光調制器，便于未來在光通信，光傳感，光集成等領域實現超高速，超低能耗的電光調制。
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“薄膜鈮酸鋰電光調制器及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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