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鈮酸鋰單晶薄膜及其制作方法

1168   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:29:40
本發明提供鈮酸鋰單晶薄膜及其制作方法，制作方法包括：在原料鈮酸鋰晶圓的光學級表面上制備介質層；穿過介質層朝向光學級表面注入離子，離子穿透光學級表面后形成離子層，在離子層和介質層之間形成單晶鈮酸鋰薄層；將載體晶圓與介質層鍵合；加熱至第一預設溫度，使單晶鈮酸鋰薄層與原料鈮酸鋰晶圓分離并存留在介質層上；加熱至第二預設溫度，第二預設溫度大于第一預設溫度。通過單晶鈮酸鋰薄層與原料鈮酸鋰晶圓分離，并牢固地位于介質層上，以可實現穩定的光波導。
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聲明：
“鈮酸鋰單晶薄膜及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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