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實現氧化鋅間隙鋰去除的一氧化氮退火工藝及其裝置

828   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:29:38
本發明涉及氧化鋅制備技術領域，具體涉及一種實現氧化鋅間隙鋰去除的一氧化氮退火工藝及其裝置，為提供一種在弱氧化性或真空和較低溫度的外部環境下實現ZnO:Li材料中富余間隙摻雜鋰原子的氧化脫除方法，本發明提供一種實現氧化鋅間隙鋰去除的一氧化氮退火裝置，包括高壓釜、一氧化氮氣體供應裝置、真空泵和氣路管道；同時，本發明還提供一種基于上述退火裝置實現氧化鋅間隙鋰去除的工藝，該工藝可以在一個相對弱氧化性以及較低溫的環境中脫除氧化鋅摻Li薄膜材料中的間隙Li原子，避免了強氧化氣氛中鋅空位的重新生成，造成材料p型轉變的失??；同時在這種熱力學條件下，已經形成的替位Li是穩定的。
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聲明：
“實現氧化鋅間隙鋰去除的一氧化氮退火工藝及其裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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加工技術
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