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基于鈮酸鋰的空氣隙型剪切波諧振器及其制備方法

914   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:22:03
本發明公開了一種基于鈮酸鋰的空氣隙型剪切波諧振器及其制備方法。該諧振器包括硅襯底、氧化硅保護層、硅腔、鈮酸鋰壓電材料及頂部電極；硅襯底的上表面向內凹陷形成凹槽，氧化硅保護層沉積在凹槽的側壁和底面；所述硅襯底與鈮酸鋰壓電材料連接，所述鈮酸鋰壓電材料覆蓋在凹槽的上方，形成硅腔；所述鈮酸鋰壓電材料上設有通孔，使硅腔與外界相通?？諝庀缎图羟胁ㄖC振器的壓電材料由離子注入和鍵合工藝制備，壓電材料下方的空氣腔通過犧牲層釋放的方法獲得。與背硅刻蝕型的剪切波諧振器相比，該方法制備的剪切波諧振器機械強度高，步驟簡單，提高了諧振器器件的良率，由于鈮酸鋰機電耦合系數高。該方法能應用于高頻寬帶、低損耗濾波器的制造。
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聲明：
“基于鈮酸鋰的空氣隙型剪切波諧振器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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