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鉭酸鋰熱釋電紅外探測器及其制造方法

1018   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:18:36
本發明屬于半導體器件制備領域，特別是涉及一種鉭酸鋰熱釋電紅外探測器及其制造方法。本發明采用具有四邊固支基板的懸膜結構，在懸膜與支撐基板之間引入絕緣隔熱材料，降低探測器的熱導，提升探測率。同時，在絕緣隔熱材料上制備了通孔，通過在通孔中填充導電材料實現電極與支撐基板的導通，在保證滿足導電性的同時，對探測器熱導的影響很小。本發明采用兩步法減薄鉭酸鋰晶片，首先利用減薄效率高的機械研磨拋光減薄或離子束刻蝕減薄技術，使鉭酸鋰晶片接近目標厚度值，然后再利用化學腐蝕減薄去除前一步減薄的損傷層，并達到最終的目標厚度值。采用兩步法減薄，既具有快速的減薄特點，同時又避免了鉭酸鋰晶片存在損傷層的問題。
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