本發明屬于電化學材料技術領域,具體為一種鋰離子電池陽極薄膜材料Sb3N及其制備方法。本發明的Sb3N薄膜是在氮氣氛中經射頻磁控濺射反應性沉積在基片上獲得,薄膜的粒子尺寸為20~50nm,呈無定形結構。以上述Sb3N薄膜為電極,與金屬鋰組成電池后,其放電平臺出現在1.45V,1.25V和0.8V左右(相對于Li/Li+)。在電壓范圍3.50-0.3V和電流密度7μA/cm2時,上述薄膜電極具有良好的充放電循環可逆性,其比容量保持在600mAh/g以上。經50次循環后無明顯的衰減。這些結果表明,本發明的薄膜作為陽極材料,比目前使用的各種薄膜陽極材料更具優越性,可應用于全固態薄膜鋰離子電池。
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