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鈮酸鋰薄膜QPSK光調制器及其制造方法

1055   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:09:48
本發明公開了一種鈮酸鋰薄膜QPSK光調制器及其制造方法，包括：石英基底晶片、鈮酸鋰薄膜、光學波導、金屬薄膜電極以及金屬封裝管殼。本發明的有益效果如下：1)縮短了彎曲波導長度和行波電極長度，去掉了直流偏移補償電極，實現了鈮酸鋰QPSK光調制器的小型化；2)采用低介電常數的石英材料作為鈮酸鋰單晶薄膜的基底晶片，實現了微波折射率與光波折射率的良好匹配，提高了鈮酸鋰QPSK光調制器的調制帶寬；3)去掉了直流偏移補償電極，降低了鈮酸鋰QPSK光調制器的信號處理復雜性；4)提高了鈮酸鋰薄膜晶圓的利用率，降低了鈮酸鋰薄膜QPSK光調制器的制造成本。
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