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鉭酸鋰敏感元及應用其的紅外熱釋探測器

939   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:07:50
本實用新型公開了一種鉭酸鋰敏感元及應用其的紅外熱釋探測器，包括鉭酸鋰晶圓、底部電極、硅襯底、頂部電極和吸收層。本實用新型對鉭酸鋰晶圓頂部金屬電極進行圖案化處理，對于單個芯片而言，通過硬掩膜設計將頂部電極一分為二，和底部金屬電極共同構成了兩個熱釋電探測器敏感元，頂部電極通過圖案化處理，預留引線鍵合區域，降低工藝制程風險，通過磁控濺射進行鉭酸鋰敏感元的沉積代替研磨拋光法，簡化了制備工藝，降低了制程難度，兼容半導體工藝，并且可以通過沉積得到厚度更薄的敏感元，探測器的響應性能更優異，在底部電極和襯底之間增加熱絕緣膜層，可以降低鉭酸鋰敏感元的熱損耗，提高器件對紅外輻射的吸收和響應。
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