本發明公開了一種具有室溫鐵磁性的鈮酸鋰薄膜及其制備方法。所述鈮酸鋰薄膜中摻雜Co、Mn、V、Cr和Fe中至少一種元素。本發明提供的鈮酸鋰薄膜的制備方法,包括如下步驟:采用離子注入法向鈮酸鋰基底中注入Co、Mn、V、Cr和Fe中至少一種元素;所述注入采用至少三種不同的注入能量。由于離子注入的過程中的摻雜離子在基體中分布的濃度內外差別比較大,不利于獲得摻雜均勻的材料。
聲明:
“具有室溫鐵磁性的鈮酸鋰薄膜及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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