本發明屬于拋光液領域,具體涉及一種基于二氧化硅納米磨料的鉭酸鋰材料化學機械拋光液及其制備方法。拋光液包括下述組分:納米級二氧化硅溶膠固體濃度為5?40%;一價陽離子無機鹽或者一價陽離子有機鹽的濃度為0.014?0.35mol/L,余量為水。本申請將基于二氧化硅納米磨料的鉭酸鋰材料化學機械拋光液中加入一價陽離子無機鹽或者一價陽離子有機鹽從而使一價陽離子與鉭酸鋰表面的鋰離子發生交換作用,使得表面層特性與鉭酸鋰體材料產生差異,有利于材料表面借助機械摩擦作用被去除。
聲明:
“基于二氧化硅納米磨料的鉭酸鋰材料化學機械拋光液及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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