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基于鈮酸鋰-硅晶圓的高速低電壓電光調制器

963   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:06:29
一種基于鈮酸鋰?硅晶圓的高速低壓電光調制器，硅晶圓位于鈮酸鋰晶圓上方，通過刻蝕硅波導，形成鈮酸鋰?硅混合波導，通過改變硅波導的結構使得光波在鈮酸鋰?硅混合波導中具有不同的能量分布。當硅波導中具有更多的能量分布時，適用于實現緊湊的分波功能、合波功能與熱光調制功能；當鈮酸鋰波導中具有更高的能量分布時，適用于實現高速、低電壓的電光調制功能。本發明分別發揮了鈮酸鋰和硅材料平臺的優勢，適用于高速低電壓的電光調制。
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“基于鈮酸鋰-硅晶圓的高速低電壓電光調制器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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