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具有保護層工具的整合的鋰沉積

1090   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:59:45
在一實施方式中，公開了一種用于在能量儲存裝置中的鋰金屬的沉積和處理的整合處理工具。整合的處理工具可為卷材工具(web?tool)。整合的處理工具可包括：卷對卷系統(reel?to?reel?system)，該卷對卷系統用于經由下列的腔室來傳送連續的材料片：用于將鋰金屬的薄膜沉積在連續的材料片上的腔室和用于將保護膜沉積在鋰金屬的薄膜的表面上的腔室。用于沉積鋰金屬的薄膜的腔室可包括：諸如電子束蒸發器的PVD系統、薄膜傳送系統，或狹縫式沉積系統(slot?die?deposition?system)。用于將保護膜沉積在鋰金屬膜上的腔室可包括：沉積夾層膜的腔室或用于將鋰離子傳導性聚合物沉積在鋰金屬膜上的腔室。
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