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硅基鈮酸鋰薄膜電光調制器陣列集成的方法

1084   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:57:26
本發明的目的在于針對現有技術的不足，提出一種大規模的硅基鈮酸鋰薄膜電光調制器陣列的集成方法。利用該方法減少了鈮酸鋰晶體層的制備工藝難度，降低了鈮酸鋰與硅粘接的精度要求，并且可以一次性同時完成大規模陣列式鈮酸鋰晶體層的制備和粘接，大幅提升了硅基鈮酸鋰薄膜電光調制器陣列的生產效率；通過對硅晶體層進行結構上的設計和優化，使得光可以在硅波導和鈮酸鋰波導中自然交替和互傳，實現了高性能的鈮酸鋰薄膜電光調制效應。此外，該方法利用了標準化的硅基集成技術成熟度優勢，將復雜的芯片制備工藝集中在硅晶體層，從而減小芯片制作過程中的工藝誤差，保證了整個硅基鈮酸鋰薄膜電光調制器陣列的性能穩定性。
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“硅基鈮酸鋰薄膜電光調制器陣列集成的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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