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提高鋁酸鋰和鎵酸鋰晶片表層晶格完整性的方法

1171   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:56:30
一種提高鋁酸鋰和鎵酸鋰晶片表層晶格完整性 的方法，包括如下步驟：在鉑金坩堝內，放置有帶氣孔的LiAlO2或LiGaO2和Li2O混合料塊；將雙面拋光或單面拋光的γ－LiAlO2或LiGaO2晶片置于或懸于鉑金絲上，加上覆蓋有LiAlO2或LiGaO2和Li2O混合粉料和熱電偶的坩堝蓋，坩堝頂部加鉑金蓋密閉，置于電阻爐中；該電阻爐加熱升溫至800～1200℃，恒溫50～100小時，Li2O擴散到γ－LiAlO2和LiGaO2晶片中，修復因Li的非化學劑量比揮發所導致的基片表層缺陷，緩慢降溫，從而提高了γ－LiAlO2和LiGaO2晶片表層的晶格完整性。由于僅襯底表層的質量對其上的外延膜有直接影響，本發明克服了高質量γ－LiAlO2和LiGaO2單晶襯底難以解決的問題，可用于生長高質量InN－GaN外延膜。
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