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基于離子注入的鈮酸鋰或鉭酸鋰晶圓黑化方法

868   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:50:05
本申請提供一種基于離子注入的鈮酸鋰或鉭酸鋰晶圓黑化方法，包括以下步驟：獲取晶圓，所述晶圓為鈮酸鋰晶圓或鉭酸鋰晶圓；對所述晶圓進行還原性離子注入處理，獲得注入還原性離子的晶圓；將所述注入還原性離子的晶圓進行退火處理。該方法基于離子注入進行晶圓黑化，能夠在不影響材料壓電性能的情況下，獲得高質量黑化晶圓。該方法利用離子注入技術，將Fe2+等還原性離子注入到鈮酸鋰或鉭酸鋰晶圓，Fe2+等的注入會占據晶格中原本更高價態離子的格點，增加鈮酸鋰或鉭酸鋰晶體中的氧空位濃度，使晶圓內的載流子濃度提升，進而提高晶圓的電導率，降低電阻率，隨后對晶圓進行退火修復，能夠有效降低晶體的熱釋電效應。
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“基于離子注入的鈮酸鋰或鉭酸鋰晶圓黑化方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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