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準靜態偏轉的電熱式MEMS微鏡

898   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:35:45
本實用新型公開了一種準靜態偏轉的電熱式MEMS微鏡，該電熱式MEMS微鏡包括基底層、電熱驅動層和鏡片應用層；電熱驅動層從上至下依次為高膨脹層、電阻加熱層、低膨脹層，電熱驅動層的一端與基底層連接，另一端可以相對于基底層進行偏轉，電阻加熱層通過引線連接外部電源；當電阻加熱層通電發熱使高膨脹層、低膨脹層吸熱膨脹并產生彎曲，帶動鏡片應用層沿電熱驅動層與基底層的連接端偏轉，調節電阻加熱層的電流可以控制高膨脹層、低膨脹層的溫度以及鏡片應用層的偏轉角度?；诒緦嵱眯滦椭圃斓墓庹{配器件，能夠實現光線聚焦、反射、散射等多種功能，應用于多個領域，在新能源利用及綠色環保方面有著非常好的應用前景。
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“準靜態偏轉的電熱式MEMS微鏡” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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