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基于碳納米管和鈀復合薄膜的氫氣傳感器

1037   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:33:54
本發明涉及新能源敏感材料，具體涉及一種基于碳納米管和鈀復合薄膜的氫氣傳感器，從內向外依次包括P型硅基底(4)、碳納米管(3)、金屬鈀薄膜(2)和兩個金屬電極(1)，其中所述碳納米管(3)的排布方式為分縱向和橫向均勻排布，所述兩金屬電極(1)均為條形且相互對稱的設置在金屬鈀薄膜(2)上表面。本發明采用的紋碳納米管可以有效的改善金屬鈀膜的吸氫性能，減少氫氣傳感器的響應時間、提高氫氣傳感器的響應度；同時，器件的選擇性也得到保證；此外，本發明可以在室溫條件下工作；并且，器件制備工藝簡單，易于大規模生產。
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“基于碳納米管和鈀復合薄膜的氫氣傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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