本發明涉及一種原子層沉積LiPON固態電解質薄膜的制備方法。本發明屬于新能源材料技術領域。原子層沉積LiPON固態電解質薄膜的制備方法,通過原子層沉積方法生長LiPON固態電解質薄膜:只采用普通的原子層沉積設備,不需要等離子體發生器進行輔助或增強;ALD沉積過程中只采用兩種反應前驅體源,其中一種為鋰前驅體源,另一種為磷和氮一體化前驅體源;在一定溫度下通過ALD生長制備LiPON固態電解質薄膜。本發明具有膜層厚度能實現原子層尺度級精確控制、工藝簡單、操作方便、離子電導率高等優點。
聲明:
“原子層沉積LiPON固態電解質薄膜的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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