本發明公開一種真空蒸發鍍膜方法,包括:將基膜放置在放卷輥上,啟動真空系統抽真空;當鍍膜腔室的真空度達到工藝要求時,啟動卷繞系統、條形蒸發源、智能屏蔽系統和控制系統;控制系統控制智能屏蔽系統及條形蒸發源的智能材料控制系統和滑動式電極系統,根據工藝要求在蒸發鍍膜基底下方形成1個或多個蒸發鍍膜區域,通過真空蒸發鍍膜在連續走膜的蒸發鍍膜基底上形成膜層;在真空蒸發鍍膜過程中,控制系統可控制智能屏蔽系統以及條形蒸發源的智能材料控制系統和滑動式電極系統之間的互相配合,在線連續地調控蒸發鍍膜基底下方的蒸發鍍膜區域,在蒸發鍍膜基底表面形成在線可調控的膜層。該真空蒸發鍍膜方法可應用于制備新能源動力電池。
聲明:
“真空蒸發鍍膜方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)