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等離子體增強化學氣相沉積法制備多孔碳膜的方法

814   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:19:42
一種等離子體增強化學氣相沉積法制備多孔碳膜的方法，屬于電化學和新能源材料領域，該方法步驟包括：將清洗后的泡沫鎳材料放入等離子體增強化學氣相沉積設備的基片臺上；抽真空，并加熱設備中基片臺；開啟等離子體增強化學氣相沉積設備；向等離子體增強化學氣相沉積設備中通入工作氣體，其工作氣體包括放電氣體、碳源氣體；開始放電，電離工作氣體，產生等離子體，分解碳源氣體，在泡沫鎳材料上沉積多孔碳膜；放電結束，關閉設備降溫。本發明制備的多孔碳膜形貌及孔徑可控，具有相同比表面積，與基體的結合性、重復性好，該多孔碳材料作為超級電容器的電極材料表現出良好的雙電層特性。簡化了工藝步驟、降低了成本、同時減輕了對環境的污染。
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