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制備碲化鎘薄膜太陽電池組件的方法

1087   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:18:18
碲化鎘薄膜太陽電池組件,屬于新能源材料與器件領域。本發明首先在未經激光刻劃的透明導電薄膜玻璃上,沉積硫化鎘薄膜、碲化鎘薄膜,獲得“玻璃/透明導電薄膜/硫化鎘/碲化鎘”結構,對其進行熱處理,然后進行激光刻劃,刻掉“透明導電薄膜/硫化鎘/碲化鎘”,然后進行化學腐蝕,然后在“透明導電薄膜/硫化鎘/碲化鎘”刻線位置填注低溫固化聚酰亞胺,然后沉積背接觸層并進行后處理,然后使用激光刻劃掉在“透明導電薄膜/硫化鎘/碲化鎘”刻痕附近刻劃掉“硫化鎘/碲化鎘/背接觸層”,沉積金屬背電極層,然后使用激光刻劃掉“透明導電薄膜/硫化鎘/碲化鎘”刻痕和“硫化鎘/碲化鎘/背接觸層”刻痕附近的“硫化鎘/碲化鎘/背接觸層/金屬背電極”,獲得串聯集成的碲化鎘薄膜太陽電池組件。該方法保證了全干法制備碲化鎘薄膜太陽電池組件的工藝中,沉積硫化鎘、碲化鎘薄膜時可獲得質量均勻一致的薄膜,保證了后續含氯化鎘氣氛中熱處理均勻性,同時又不影響單元電池的形成及其串聯集成的實現,從而提高了組件的轉換效率。
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