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用于新能源動力電池薄膜電極制備的卷繞鍍膜設備

897   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:08:01
本實用新型公開了一種用于新能源動力電池薄膜電極制備的卷繞鍍膜設備，該設備的主體真空腔室為臥式圓筒形結構，主體真空腔室的中心部位設置有旋轉鍍膜鼓；由隔板將主體真空腔室分隔為卷繞室、真空鍍膜室和射頻離子反應室，各室之間留有狹窄通道允許柔性基膜通過；卷繞室內設置有卷繞系統，卷繞系統包括放卷輥、放卷過渡輥、收卷過渡輥和收卷輥；真空鍍膜室設置有磁控靶裝置，所述的真空鍍膜室和射頻離子反應室均為2個以上。本實用新型通過射頻離子反應室的設置，將鍍膜室和反應室分開，實現了金屬氧化物薄膜的高速制備，解決了金屬氧化物的反應濺射鍍膜緩慢的問題。
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