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超小型MEMS陀螺儀傳感器

1033   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 18:02:02
本實用新型公開了一種超小型MEMS陀螺儀傳感器,其包括一MEMS晶圓,在MEMS晶圓內挖槽后填埋密度大于硅的金屬于槽內形成復合材料的質量塊,該MEMS晶圓周圍形成一固定框架,該質量塊通過至少一彈簧與固定框架連接。本實用新型能夠適當優化器件性能,以及大大縮小質量塊的面積尺寸。
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聲明：
“超小型MEMS陀螺儀傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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