本實用新型公開了一種用來制備納米硅粉的電弧放電-等離子體復合裝置,其特征在于,包括電弧放電裝置和等離子體發生器,所述電弧放電裝置和等離子體發生器通過管道和閥門連接。本實用新型所述復合裝置可以直接采用高純度半導體(9N級晶硅)或太陽能級(6N級晶硅)鑄錠的硅棒,采用電弧放電、高溫等離子體氣化、活化處理、接枝反應等步驟得到一種核殼結構硅納米復合材料,成品轉化率和純度較高,使用本裝置制備方法簡單易行,適合規?;a。
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“用來制備納米硅粉的電弧放電-等離子體復合裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)