本發明是針對采用氣相沉積方法制備材料的設備,此設備可用于多晶塊體材料的生長。特別地采用該設備可制備出以硒化鋅為基底、表面涂有硫化鋅的塊體復合材料。制備硒化鋅/硫化鋅復合光學材料的設備包括爐,與控制面板、真空系統、水冷系統以及動力變壓器相連。爐體內放置加熱體,加熱體內部裝有反應容器,爐體內部裝有隔熱擋板,爐壁上有用于連接通風系統和真空系統的孔、溫度傳感器、真空傳感器以及連接大氣的通風開關,爐體與爐蓋具有水冷結構。加熱器由石墨制成,圓柱體結構,沿著它的高度方向開槽,加熱體側壁厚度是變化。該發明成果主要是對設備的工藝性能及其相應部件進行改善,最終獲得熱力學性能和力學性能較為理想的高品質光學材料。
聲明:
“制備硒化鋅/硫化鋅光學材料的設備、爐、爐用加熱體” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)