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制備硒化鋅/硫化鋅光學材料的設備、爐、爐用加熱體

1145   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 17:53:02
本發明是針對采用氣相沉積方法制備材料的設備,此設備可用于多晶塊體材料的生長。特別地采用該設備可制備出以硒化鋅為基底、表面涂有硫化鋅的塊體復合材料。制備硒化鋅/硫化鋅復合光學材料的設備包括爐,與控制面板、真空系統、水冷系統以及動力變壓器相連。爐體內放置加熱體,加熱體內部裝有反應容器,爐體內部裝有隔熱擋板,爐壁上有用于連接通風系統和真空系統的孔、溫度傳感器、真空傳感器以及連接大氣的通風開關,爐體與爐蓋具有水冷結構。加熱器由石墨制成,圓柱體結構,沿著它的高度方向開槽,加熱體側壁厚度是變化。該發明成果主要是對設備的工藝性能及其相應部件進行改善,最終獲得熱力學性能和力學性能較為理想的高品質光學材料。
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