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用于機械零部件表面耐磨損、耐腐蝕的復合涂層及制備方法

1102   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:53:01
本發明公開了一種用于機械零部件表面耐磨損、耐腐蝕的復合涂層及制備方法，其復合涂層包括過渡層和功能層，過渡層由鉻、鈦或鎳純金屬制備且位于功能層和工件表面之間。復合涂層的制備方法，包括以下工藝步驟：①工件經清洗并烘干后，置于非平衡磁控濺射鍍膜設備的真空室中；②真空壓力設為3×10?3Pa；溫度設為200℃~500℃并保溫30分鐘；保溫同時對工件進行等離子體清洗；③通入氬氣利用非平衡磁控濺射方法制備過渡層；④使用氬氣作為工作氣體，通入氮氣反應氣體制備功能層；⑤工件隨爐冷卻到100℃以內，取出即可。本發明采用復合材料表面設計方法，采用兩層結構(過渡層、功能層)來用于提高機械零部件表面性能。
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