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基于面內伸縮模態諧振器的MEMS磁場傳感器及制備方法

1046   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:51:40
本發明公開一種基于面內伸縮模態諧振器的MEMS磁場傳感器及其制備方法，諧振器的矩形振子由層合結構的磁電復合材料構成，由兩端的固定梁支撐，懸于硅襯底上的空心區域之上。矩形振子包含從下而上依次設置疊加的底電極層、壓電層、粘合層、低電阻金屬層和軟鐵磁性合金層。底電極為梳齒狀結構，其延伸部分沿固定梁延長到外部的硅襯底上，用于接駁外部電路。在底電極的外部延伸終點處，壓電層開通孔以露出下層鉑電極基板。振子的固定梁部分由壓電層和底電極的延伸部分構成。諧振器的諧振頻率由諧振器的振子材料、薄膜厚度以及電極尺寸共同決定。采用該諧振器的磁場傳感器可測量磁場的幅度且結構簡單，靈敏度高，能耗低，并與半導體制造技術兼容。
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“基于面內伸縮模態諧振器的MEMS磁場傳感器及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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