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掃描電鏡薄樣品透射過濾-反射接收式襯度分離成像方法

721   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:24:44
掃描電鏡薄樣品透射過濾-反射接收式襯度分離成像方法屬于掃描電鏡成像技術領域，其特征在于，薄樣品采用懸臂梁式單端固定狀態，薄樣品厚度在50～1000nm之間，透射成像方式減小了入射電子在樣品中的多重非彈性散射，增強了低能真二次電子和高能彈性背散射電子的發射幾率，分離了形貌襯度與通道襯度，形貌襯度與成分襯度，加速電壓為5～15kV，入射電流為10-9～10-11A，工作距離為5～15mm，獲得增強的單一襯度的二次電子像和背散射電子像，樣品厚度控制在透射電鏡觀察用薄膜樣品的二倍以上，使薄樣品易于制備，適于各類掃描電鏡及多種薄樣品，如金屬及合金，復合材料，半導體及外延層，陶瓷，有機物及納米材料。
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