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單晶硅坩堝

971   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 17:23:08
本實用新型公開了一種單晶硅坩堝,包括坩堝部本體,配置為盛放石英坩堝;所述坩堝部包括孔單元,設置于坩堝部本體的側壁,連通坩堝部的內外空間;孔單元在第二坩堝單元圓周方向上所占的比例,自坩堝部底部一側向另一側逐漸增大;所述坩堝部由碳?碳復合材料制成。本實用新型提供一種單晶硅坩堝,采用碳?碳復合材料作為坩堝側壁,減少側壁厚度,增大坩堝的容積,提高了單晶硅的產量;側壁孔單元的設置,提高了加熱器發熱體對石英坩堝及硅熔體的熱量傳遞,通過在側壁上設置不同尺寸、不同形狀或者分布密度不同的孔單元,可以有效控制硅熔體內部溫度梯度的分布,控制硅熔體的對流,從而降低單晶硅的氧含量。
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