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單晶硅坩堝

971   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:23:08
本實用新型公開了一種單晶硅坩堝，包括坩堝部本體，配置為盛放石英坩堝；所述坩堝部包括孔單元，設置于坩堝部本體的側壁，連通坩堝部的內外空間；孔單元在第二坩堝單元圓周方向上所占的比例，自坩堝部底部一側向另一側逐漸增大；所述坩堝部由碳?碳復合材料制成。本實用新型提供一種單晶硅坩堝，采用碳?碳復合材料作為坩堝側壁，減少側壁厚度，增大坩堝的容積，提高了單晶硅的產量；側壁孔單元的設置，提高了加熱器發熱體對石英坩堝及硅熔體的熱量傳遞，通過在側壁上設置不同尺寸、不同形狀或者分布密度不同的孔單元，可以有效控制硅熔體內部溫度梯度的分布，控制硅熔體的對流，從而降低單晶硅的氧含量。
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聲明：
“單晶硅坩堝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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