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用于等離子體加工設備中的復合淋浴頭電極總成

1140   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:11:18
一種用于等離子體加工設備中的淋浴頭電極包括位于電極板和背襯板的相對表面之間的界面膠。所述界面膠在因熱膨脹系數不一致而造成熱循環時產生的橫向位移過程中,保持導熱性能。所述界面膠包括諸如填充有氧化鋁微粒的有機硅基復合材料。所述界面膠能夠適應不規則形狀特征并且使匹配表面間的表面接觸面積最大化。所述界面膠可以預置至消耗型上部電極上。
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