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SiC纖維表面的鈦涂層的制備方法及裝置

967   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:09:20
本發明涉及一種SiC纖維表面的鈦涂層的制備方法及裝置，采用化學氣相沉積(CVD)方法在SiC纖維表面制備一定厚度的鈦涂層作為制備鈦基復合材料的先驅絲。通過調節TiCl4氣體流量、H2流量、Ar流量、溫度和時間等工藝參數，在SiC纖維表面制備得到了一定厚度的鈦涂層，在實驗溫度下鈦涂層沉積速率最高可達到16μm/min，有希望提高鈦基復合材料的制備效率并降低成本。本發明提供的裝置：固定拉直纖維避免了加熱溫度高的纖維貼壁對玻璃管而造成損害，在氣體管道上纏上加熱帶給管道加熱，避免氣態TiCl4流經氣體管道時冷凝成液體粘附在其內壁；水銀槽周圍的冷卻循環水系統可給接觸反應壁的水銀降溫，避免其在空氣中被人體吸收而造成嚴重的健康危害。
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