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高致密性高導熱鎢銅材料的制備方法

1051   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 16:55:13
本發明公開了一種高致密性高導熱鎢銅材料的制備方法,包括:一、將鎢粉置于氫氣爐內進行還原;二、以銅靶為濺射靶材,對還原后的鎢粉進行磁控濺射,得到復合材料;三、將復合材料置于熱壓爐內熱壓燒結然后自然冷卻,得到前驅體;四、將前軀體置于化學氣相沉積爐內,以甲烷和水蒸氣的混合氣體為反應氣體,對前軀體進行化學氣相沉積,得到高致密性高導熱鎢銅材料。采用本發明方法制備的鎢銅材料的熱導率為220W/m·K~300W/m·K,密實度大于98%,拉伸強度為680MPa~692MPa,熱膨脹系數為4.3×10?6/K~4.7×10?6/K,硬度為180HV~186HV。
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