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埋入式電容器及其制備方法

865   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 16:53:48
一種“三明治”結構的以聚合物基電介質復合材料為基體的埋入式電容制備方法屬于微電子領域?，F有埋入式電容無法兼顧加工工藝與介電性能，且制備工藝復雜。本發明所提供的埋入式電容由疊加在上下電極與電介質層組成；上下兩層電極為單面鍍鋅電解銅箔；中間電介質層為聚合物與無機陶瓷粒子復合材料，其中聚合物體積分數為60%-90%，無機陶瓷粒子的體積分數為10%-40%。本發明通過以聚合物為基體，以無機陶瓷粒子為分散相，采用旋轉涂層技術制備復合材料電介質層后，采用層壓工藝將上下電極與中間復合材料電介質層壓合在一起，得到“三明治”結構的埋入式電容。本發明提供的埋入式電容具有介電常數高，介電損耗低，溫度穩定性和頻率穩定性優，制備工藝簡單等優點。
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