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形成金屬玻璃鍍膜的靶材及該靶材形成的復合材料

847   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 16:45:43
本發明公開了一種形成金屬玻璃鍍膜的靶材,在基材上濺鍍形成組成是ZraKbMcNd的金屬玻璃鍍膜,其中,K、M、N選自于VB族、VIB族、VIIIA族、IB族、IIIA族,或IVA族中的元素,任二者的原子半徑百分比不小于15%,a、b、c、d表原子組成百分比,30≤a≤77,11≤b≤50,4≤c≤15,4≤d≤10,靶材具有多數成扇形拼成圓盤狀或長方形連續排列的鍍膜材料單元,每一鍍膜材料單元具有四條分別由鋯、K、M、N四金屬元素構成的元素分條,且所有元素分條的鋯、K、M、N數量比與金屬玻璃鍍膜成濺鍍產生比例關系。
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復合材料
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