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用于復合材料氣相沉積爐的供氣組件

1047   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 16:42:03
本實用新型涉及氣相沉積爐供氣技術領域,尤其涉及用于復合材料氣相沉積爐的供氣組件,解決了現有氣相沉積爐供氣的氣孔易出現堵塞的情況,影響生產效率的缺點,包括供氣殼體以及設置在供氣殼體端部的端蓋,供氣殼體的內部設置有供氣內膽,所述端蓋的端部內側通過螺栓固定有刮除電機,所述刮除電機的輸出軸套接固定有轉板,所述轉板的表面設置有擋板,轉板的表面還設置有刮板,在供氣殼體端部設置端蓋,并安裝刮除電機,通過刮除電機驅動轉板轉動,從而推動轉板底部連接的刮板作用在供氣內膽的外表面,從而利用刮板表面的硬質毛刷對氣孔內堵塞物進行刮除,有效防止了氣孔堵塞的情況。
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“用于復合材料氣相沉積爐的供氣組件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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