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硅晶體生長用碳碳復合材料堝幫

722   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 16:42:03
一種硅晶體生長用碳碳復合材料堝幫，在堝幫內側配設有與其內徑壁面相匹配的內筒，所述內筒靠近所述堝幫直壁部頂端設置，能夠在拉晶時與所述堝幫內徑壁面緊密貼合，并可在拉晶結束后從所述堝幫頂部取出以使石英坩堝從所述堝幫中無卡頓取出。本實用新型在原堝幫內側加設可拆卸的內筒，進而在取出石英坩堝的過程中，上部不受阻力，可整體方便取出，可有效減少操作時間和后期處理時間；同時在內筒上設置排氣孔，使得在石英坩堝和堝幫之間產生的氣體得到及時排除，從而避免了石英坩堝鼓包的問題，維持正常拉晶，避免安全風險和成本損失；該內筒可定期更換，可有效提高堝幫的壽命，降低生產成本。
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