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包覆硅的碳顆粒復合材料、制備方法和設備及用途

870   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 16:40:02
本發明涉及一種包覆硅的碳顆粒復合材料、制備方法和設備及用途，本發明使用低溫等離子體反應分解制備納米硅，能夠在常溫條件下化學氣相沉積制備產品，得到包覆非晶硅層的碳顆粒；進一步地通過反應氣流量、反應功率的調節，能夠有效的調控納米硅顆粒尺寸，可在5～1000nm范圍內自由控制；通過將化學氣相沉積室設計成旋轉方式，能夠有效的提高納米硅與基底復合的均勻性；進一步地，通過對化學氣相沉積速率、旋轉速率等條件的控制能夠得到厚度可控的硅層。
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“包覆硅的碳顆粒復合材料、制備方法和設備及用途” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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