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SnSe/SnO2/Gr復合材料的制備方法、MEMS氨氣傳感器及其應用

1151   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 16:39:03
本發明涉及一種SnSe/SnO2/Gr復合材料的制備方法、MEMS氨氣傳感器及其應用，屬于MEMS氣體傳感器技術領域。本發明包括以下步驟：將SnCl2·2H2O、NaOH、Se、NaBH4，攪拌加熱，干燥得到SnSe納米粒子；溶解，高溫保存后，暴露在空氣中，冷卻到室溫，離心洗滌干燥，得到SnSe/SnO2納米粒子；將濃硫酸置于冰水浴中，加入石墨粉和硝酸鈉，加入高錳酸鉀，去除冰水浴，加入雙氧水，后處理得到GO粉末；制成懸浮液，加入到SnSe/SnO2溶液中，加入十六烷基三甲基溴化銨，離心干燥，高溫加熱，冷卻。本發明制得的MEMS氨氣傳感器靈敏度高、響應恢復時間快、選擇性高。
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