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用于炭炭復合材料板材氣相沉積的沉積室

704   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 16:31:01
本實用新型涉及一種用于炭炭復合材料板材氣相沉積的沉積室，包括主沉積室和多個分隔組件；主沉積室包括吊裝底板，吊裝底板上設置有4個支撐方柱安裝孔，每個安裝孔內安裝一根支撐方柱，支撐方柱的頂部安裝橫梁，四塊沉積室側板安裝在支撐方柱的外側，蓋板放置在橫梁的上方，吊裝底板、支撐方柱、橫梁、沉積室側板及蓋板形成沉積腔；多條插槽板平行安裝在沉積腔內的吊裝底板上，插槽板上均勻設置插槽，插槽板的兩端設置固定孔；所述的分隔組件包括兩根隔條和連接兩根隔條的連接繩。本申請結構合理、制作簡單，可整體吊裝、操作方便，可擺放大尺寸板材，板材變形小、沉積氣氛流暢、無無效沉積面積，板材沉積表面均勻致密。
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聲明：
“用于炭炭復合材料板材氣相沉積的沉積室” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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