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單晶硅爐用炭/炭復合材料坩堝的制備工藝

788   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 16:28:01
本發明公開了一種單晶硅爐用炭/炭復合材料坩堝的制備工藝，該方法采用聚丙烯腈基碳纖維編制的預制體，以天然氣、丙烯、石油液化氣的混合氣體為碳源，氮氣或氬氣為載氣，在立罐式沉積爐形成的均溫熱場內，定時切換管路的上進氣與下進氣，利用坩堝內外氣體的壓力差，實現均溫法、壓差法、強制氣流法相結合，實現坩堝坯體整體的快速致密化，坩堝在300至350小時后，密度可達到1.6g/cm3以上，較傳統自由沉積工藝大大縮短沉積時間，降低了生產成本。坩堝經機械加工后，用于單晶硅爐熱場，炭/炭復合材料坩堝較熱等靜壓石墨坩堝壽命提高了3至5倍，性價比明顯優于石墨坩堝，大大降低了單晶硅生產的成本和勞動強度。
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