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金屬復合材料制備裝置及其制備方法

746   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 16:21:02
本發明涉及鋰電池領域，特別涉及一種金屬復合材料制備裝置及其制備方法，所述金屬復合材料制備裝置包括沉積腔體和獨立設置于所述沉積腔體內的基臺及多個獨立設置且氣壓可調的蒸發腔；所述蒸發腔內設置有放置蒸料的蒸發位，所述基臺上用于放置待沉積基底，所述蒸料由蒸發位蒸發并沉積在所述待沉積基底之上。所述制備方法中，通過調節蒸發腔的氣體排出速率與所述蒸發位的蒸發速率，使原子由蒸發腔進入沉積腔體內，并于以所需沉積速率在基底上沉積?；谏鲜龇椒商岣叨嘣牧瞎舱舭l的可控性，從而更精準地控制金屬或金屬化合物蒸料的蒸發速率，以提高所述蒸發沉積的沉積物中蒸料比例范圍及蒸發沉積的均勻度。
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