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基于超聲波檢測的智能化復合材料沉積設備

1096   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 16:16:03
本發明提供了一種基于超聲波檢測的智能化復合材料沉積設備，包括智能激光發射器、一驅動機構、三個第一反射鏡、真空室、三個用于固定不同的源材料靶材的第一固定平臺以及用于沉積形成復合材料的基片；所述第一固定平臺以及基片均設置于所述真空室內，所述三個第一固定平臺分別與所述基片的預設區域相對，真空室設置有通光部，所述智能激光發射器與所述第一反射鏡的出光方向呈預設夾角；所述驅動機構與所述智能激光發射器連接以驅動所述智能激光發射器沿著預設直線移動，使得所述智能激光發射器發出的激光選擇性地射入至所述三個第一反射鏡中的一個第一反射鏡，所述第一反射鏡用于將激光通過所述通光部射入所述真空室中的對應所述第一固定平臺處。
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