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化學氣相沉積碳與氣相滲硅工藝聯合制備SiCf/SiC復合材料的方法

1116   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:40:02
本發明公開了一種化學氣相沉積碳與氣相滲硅工藝聯合制備SiCf/SiC復合材料的方法，包 括以下步驟：以SiC纖維為原料，采用三維編織技術制備SiC纖維編織件；以三氯甲基硅烷為 沉積原料，對SiC纖維編織件進行第一次化學氣相沉積，沉積的SiC涂層厚度為0.1～70μm； 再以甲烷或丙烯氣體為原料，通過第二次化學氣相沉積對SiC纖維編織件沉積碳，得到SiCf/C 中間體；最后以單質硅為原料，采用氣相滲硅工藝對所述的SiCf/C中間體進行滲硅得到 SiCf/SiC復合材料。本發明具有制備周期短、成本低等優點，能夠制備得到高致密性、高力 學性能和熱導性能的SiCf/SiC復合材料。
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