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含有α-Al2O3涂層的炭/炭-碳化硅復合材料坩堝

1117   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:32:01
本發明涉及一種含有α?Al2O3涂層的炭/炭?碳化硅復合材料坩堝，屬于單晶硅拉制爐用熱場部件技術領域。所述復合材料坩堝包括坩堝本體以及涂覆在坩堝本體內表面的α?Al2O3涂層，坩堝本體是通過CVI工藝、樹脂浸漬炭化工藝以及CVI工藝依次對炭纖維預制體進行熱解炭、樹脂炭以及碳化硅增密處理獲得的體積密度為1.6g/cm3～1.8g/cm3的C/C?SiC復合材料；其中，炭纖維預制體的體積密度為0.3g/cm3～0.6g/cm3，熱解炭增密至1.0g/cm3～1.2g/cm3，樹脂炭增密至1.4g/cm3～1.6g/cm3，碳化硅增密至1.6g/cm3～1.8g/cm3。所述復合材料坩堝既具有支撐作用又可保證熔融硅純度，避免石英坩堝的使用，而且使用壽命顯著提高，有效降低單晶硅拉制成本，解決了現有技術中必須同時使用石英坩堝和炭/炭復合材料坩堝拉制單晶硅所帶來的問題。
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