權利要求
1.鉬合金靶材的制備方法，包括如下步驟： (1)配制原料：按照所述靶材各元素質量配比稱取原料進行混合，得到混合粉末；其中，以質量百分數計，所述靶材包括如下成分，Ni：10％～30％，Ti：5％～25％，W：1％～20％和Re：0.5％～5％，余量為Mo和不可避免的雜質，且Mo的質量百分比≥50％； (2)冷等靜壓：將步驟(1)中的混合粉末裝入模具，進行冷等靜壓，得到冷壓坯體； (3)熱等靜壓：將冷壓坯體裝入包套，進行熱等靜壓，得到帶包套的熱壓坯體； (4)熱軋：將熱壓坯體的包套去除后，使用金屬板包覆熱壓坯體，然后進行熱軋處理，熱軋后去除鉬板，得到軋件； (5)退火：對軋件進行退火處理，得到所述鉬合金靶材。2.如權利要求1所述的鉬合金靶材的制備方法，其特征在于，以質量百分數計，所述靶材還包括0.01％-15％的M，所述M為Cr、Zr、Ta、Nb中的至少一種，所述M用于替代部分Ti；優選地，以質量百分數計，所述靶材包括Ni：15％～25％，Ti：10％～20％，W：1％～10％，Re：1％～5％和M：0％-5％，余量為Mo和不可避免的雜質，且Mo的質量百分比≥50％。 3.如權利要求1所述的鉬合金靶材的制備方法，其特征在于，所述靶材中成分Mo的原料為純度≥3N5的鉬粉，其費氏粒度范圍優選為2.5μm～4μm；優選地，所述靶材中成分Ni的原料為純度≥3N的鎳粉，其費氏粒度范圍優選為2μm～3μm；優選地，所述靶材中成分Ti的原料為純度≥3N的鈦粉，其費氏粒度范圍優選為2μm～4μm；優選地，所述靶材中成分W的原料為純度≥3N5的鎢粉，其費氏粒度優選為粒度2.0μm～3.0μm；優選地，所述靶材成分Re的原料為錸粉或錸酸銨，所述錸粉的純度≥4N，費氏粒度優選為2μm～4μm，所述錸酸銨純度≥4N，粒度優選為150～350目。 4.如權利要求1所述的鉬合金靶材的制備方法，其特征在于，所述鉬合金靶材中錸元素是以鎢錸合金粉末的形式加入；所述鎢錸合金粉末是將原料中的鎢粉與錸酸銨混合后經還原處理獲得；優選地，所述鎢錸合金粉末的鎢錸質量比為95:5～50:50；優選地，所述還原處理在氫氣氣氛中進行，所述還原處理的溫度為500℃～900℃，所述還原處理的時間為2h～8h。 5.如權利要求1所述
聲明：
“鉬合金靶材制備方法、鉬合金靶材和應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：安泰天龍（北京）鎢鉬科技有限公司 安泰天龍鎢鉬科技有限公司 安泰科技股份有限公司
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2025年07月09日 ~ 11日 
